OLED-микродисплеи от «Ростеха»

По сообщению «Ростеха», входящий в состав госкорпорации холдинг «Росэлектроника» разработал первый полностью российский микродисплей на органических электролюминесцентных светодиодах (OLED). Устройство предназначено для индивидуальных средств отображения информации, таких как очки виртуальной, дополненной и смешанной реальности (VR/AR/MR), фото- и видеокамеры, а также наголовные и нашлемные видеомодули, тепловизионные прицелы и тепловизоры.

Микродисплей размером 15,5х12,5 мм выдает изображение с разрешением 1280х1024 и шагом пикселов в 12 мкм. Производство OLED-микродисплеев требует соблюдения повышенных требований к технологическому процессу: важно соблюдать высокую точность обработки верхнего стека кремниевой сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) и нанесения многослойной OLED-структуры, толщина которой не превышает 100 нм.

Создание российской кремниевой СБИС проходило в кооперации предприятий госкорпорации «Ростех». Схемотехнические решения разработаны НИИМА «Прогресс», топология – НИИМЭ, а кремниевые 200-мм пластины со СБИС изготовлены компанией ПАО «Микрон», входящей в ГК «Элемент» (совместное предприятие «Ростеха» и АФК «Система»).

ОКР и освоение серийного производства выполнены ЦНИИ «Циклон» холдинга «Росэлектроника». Как подчеркивают в компании, это единственное в России предприятие, обладающее промышленным оборудованием и технологией для изготовления OLED-структур и устройств на их основе. Технологии создания кремниевых микросхем управления и изготовления OLED-микродисплеев запатентованы и защищены режимами секрета производства ноу-хау.