Первые EUV-детекторы на основе карбида кремния пошли в серию
До этого доступные заказчикам EUV-детекторы строились на основе чистого кремния, с которым индустрия прекрасно научилась обращаться, но который именно для детектирования СВЧ-излучения подходит не лучшим образом.